电子级NF3的分析检测

三氟化氮是一种腐蚀性气体。它具有较强的氧化能力,可用作火箭推进剂的氧化剂,还可用作等离子体工艺中的刻蚀气体,与其它气体混合,则可用于硅化物的刻蚀。用于蚀刻厚度小于1.5微米时，蚀刻速度快，选择性强。全球产能3万吨，国内占比3成。

三氟化氮有毒,在空气中的容许极限浓度为10μL/L,直接危害生命和健康的浓度为2000μL/L。三氟化氮对皮肤、肝脏、心脏和肾脏等有损害。

为了保证三氟化氮的质量，对三氟化氮的纯度技术指标标准如下：

为保证电子级NF₃中的痕量杂质全部分析，仅需搭载三台高麦仪器即可全部检出：即GM 592 DID气相色谱仪、MIDAC I系列FTIR、Tiger HALO 3 H₂O分析仪 。

三氟化氮样品气——GM 592 DID气相色谱仪

HF样品气——MIDAC I系列FTIR

高麦 成立于1935年,

在中国、美国、日本、韩国等多个国家设有

技术、研发中心，生产、智能工厂、客户运营中心，

逐步形成以北京为总部，

在武汉、杭州，日照，台湾等地分别设立

技术研发和客户运营中心的生态网络，

全方位的为中国乃至全球客户

   打造专属的气体行业解决方案。